나노소자 및 시스템실험실

안녕하십니까? 인제대학교 4단계 BK21사업
NANO 4.0 융합소재부품 지역혁신 인재양성 교육연구단에 오신 것을 환영합니다.

나노소자 및 시스템실험실

Nano Device and System Lab

지도교수

이제원

실험실 소개 본 나노소자 및 시스템 연구실은 플라즈마 기술을 이용한 새로운 나노소자와 시스템의 개념 개발, 모델링, 설계, 공정, 분석 등에 주된 관심을 가지고 있다. 국내외 관련회사 및 연구실과의 네트워킹을 가지고 상호협력하며 발전하고 있다.
주요연구내용 화합물 반도체 플라즈마 공정
새로운 플라즈마 장치 개발
반도체 및 광학박막 증착 기술
플라즈마 표면 처리 기술 개발
주요실적 1) 논문
화합물반도체 플라즈마 식각 등 논문 130편
2) 특허
- 누설 전류형 변압기를 이용한 플라즈마 처리장치 (2012.05.11.)/ 등록번호 : 1011473490000
- 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 이종접합의 선택적 식각 방법 (2013.07.23.)/ 등록번호 : 1012908270000
- 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 이종 접합 구조의 비선택적 식각 방법 (2013.07.23.)/ 등록번호 : 1012908280000
- 냉음극 플라즈마를 이용한 실리카 박막의 제조 방법 (2015.10.02.) / 등록번호 : 1015591040000 ( ㈜다이아텍 기술이전)
- 냉음극 플라즈마를 이용한 산화아연 박막의 제조 방법 (2015.11.02.)
- 스마트 일회용 비닐 위생복 착용 장치 공동발명자 의과대 박석주 교수 (2020.06.03.) (시제품 제작사업 활용)/ 등록번호 : 1021211480000
연락처 실험실 홈페이지 : http://home.inje.ac.kr/~ndsl
지도교수 이메일 : jwlee@inje.ac.kr
연구실 : 055-320-3718
위치 : 일강원(G동) 연구실 610호 / 실험실 603호, 604호
졸업생 현황 백인규 (‘07 공학석사 / Applied Materials 연구원)
김재권 (‘09 공학석사 / 서울옵토디바이스 주임연구원)
박연현 (‘09 공학석사 / 한국재료연구소 연구원)
주영우 (‘09 공학석사 / ㈜KEC 연구원)
노호섭 (‘09 공학석사 / ㈜세미언스 연구원)
박주홍 (‘10 공학석사 / ㈜KEC 연구원)
이성현 (‘10 공학석사 / 서울옵토디바이스 연구원)
최경훈(‘11 공학석사/우원테크 연구원)
노강현 (‘12 공학석사 / ㈜세미언스 연구원)
신주용 (‘12 공학석사 / 삼성전자 사원)
박동균 (‘12 공학석사 / 삼성전자 사원)

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